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8月28日，截止午间收盘，科创半导体设备ETF（588710）涨2.26%，报1.266元，成交额2580.15万元。科创半导体设备ETF（588710）重仓股方面，华海清科截止午盘涨1.17%，中微公司涨4.05%，拓荆科技涨1.39%，安集科技涨4.34%，芯源微涨2.03%，中科飞测涨4.13%，华峰测控涨1.74%，盛美上海涨0.06%，富创精密涨5.80%，中芯国际涨13.17%。
科创半导体设备ETF（588710）业绩比较基准为上证科创板半导体材料设备主题指数收益率，管理人为华泰柏瑞基金管理有限公司，基金经理为李沐阳，成立（2025-05-26）以来回报为23.59%，近一个月回报为10.10%。
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